首先，纯水是指纯净水一般以城市自来水为水源，经过多层过滤，可将微生物等有害物质去除，但同时也去除了氟、钾、钙、镁等人体所需的矿物质。
其次，一、臭氧灭菌超纯水处理
臭氧(O3)的消毒原理是：臭氧在常温、常压下分子结构不稳定，很快自行分化成氧气(O2)和单个氧原子(O);后者具有很强的活性，对细菌有极强的氧化效果，将其杀死，多余的氧原子则会自行重新结合成为普通氧原子(O2)，不存在任何有毒残留物，故称无污染消毒剂，它不但对各种细菌(包括肝炎病毒，大肠杆菌，绿浓杆菌及杂菌等)有极强的杀灭才能，并且对杀死霉素也很有用。
1、臭氧的灭菌机制及进程类归于生物化学进程，氧化分化了细菌内部氧化葡萄糖所必须的葡萄糖氧化酶。
2、直接与细菌、病毒发生效果，损坏其细胞器和核糖核酸，分化DNA、RNA，蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌的物质代谢出产和繁殖进程到损坏。
3、渗透胞膜安排，侵入细胞膜内效果于外膜脂蛋白和内部的脂多糖，使细胞发生通透畸变，导致细胞溶解逝世。并且将逝世菌体内遗传基因、寄生菌种、寄生病毒粒子、噬菌体、枝原体及热原(细菌病毒代谢产物、内毒素)等溶解变性灭亡。
二、活性炭吸附纯水处理工艺
活性炭依靠吸附和过滤效果主要去除水中的异色、异味、余氯、残留消毒物等有机物杂质。
三、薄膜微孔过滤(MF)纯水处理工艺
薄膜微孔过滤法包括三种办法：深层过滤、筛网过滤、外表过滤。
深层过滤是以编织纤维或紧缩资料制成的基质，运用隋性吸附或是捕捉办法来留住颗粒，如常用的多介质过滤或砂滤;深层过滤是一种较为经济的办法，可去除98%以上的悬浮固体，同时保护下游的纯化单元不会被阻塞，因此一般做为预处理。
外表过滤则是多层结构，当溶液经过滤膜时，较滤膜内部孔隙大的颗粒将被留下来，并主要堆积在滤膜外表上，如常用的PP纤维过滤。外表过滤可去除99.9%以上的悬浮固体，所以也可作为预处理或澄清用。
筛网滤膜基本上是具有一致性的结构，就象筛子一般，将大于孔径的颗粒，都留在外表上(这种滤膜的孔测量是十分精准的)，如超纯水机终端运用的用点保安过滤器;筛网过滤微孔过滤一般被置于纯化体系中的最终运用点，以去除最后的残留微量树脂片、碳屑、胶体和微生物。
四、离子交流(IX)纯水处理工艺
离子交流法的原理是将水中的无机盐阴阳离子如钙离子Ca2+、镁离子Mg2+、硫酸盐SO42-、硝酸盐NO3-等，经过与离子交流树脂交流，使水中的阴、阳离子与树脂中的阴阳离子相交流，从而使水得到纯化。
五、反渗透(RO)纯水处理工艺
它是以压力为推动力，运用反渗透膜只能透水而不能透过溶质的选择性，从含有各种无机物、有机物、微生物的水体中，提取纯水的物质别离进程。反渗透膜的孔径小于10埃(1埃等于10-10米)，具有极强的筛分效果，其脱盐率高达99%，除菌率大于99.5%。可去除水中的无机盐、糖类、氨基酸、细菌、病毒等杂质。如果以原水水质及产水水质为基准，经过适当设计后，RO是将自来水纯化的最经济的有用办法，同时也是超纯水体系最好的前处理办法。
六、超过滤(UF)纯水处理工艺
微孔薄膜是依其过滤孔径的大小来去除微粒，而超滤(UF)薄膜则像一个分子筛，它以尺度为基准，让溶液经过极微细的孔，以达到别离溶液中不同大小分子之目的。
超滤膜是一种强韧、薄、具有选择性的通透膜，一般认为其过滤孔径约为0.01μm，可截留某种特定大小以上的分子，包括：胶质、微生物和热源。较小的分子，例如：水和离子，都可经过滤膜。
七、紫外线(UV)、臭氧灭菌超纯水处理工艺
采用紫外灯所放射出来的254nm/185nm的紫外线可以有用的杀死细菌和降解有机物。
八、EDI纯水处理工艺
一种新的去离子水处理办法。又称连续电除盐技能，EDI设备将离子交流树脂充夹在阴/阳离子交流膜之间构成EDI单元。这种办法不需再用酸碱对树脂进行再生，环保性好。
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